Lam Research 泛林集团近日对其打造的世界首款专为半导体制造设备维护打造的协作机器人(IT之家注:Collaborative Robot)Dextro 进行了介绍,并表示该型机器人已获全球多家先进晶圆厂应用。
泛林介绍世界首款半导体制造设备维护专用协作机器人 Dextro,已获多家晶圆厂应用(图1)图源泛林集团视频